半導體行業(yè)全球領先的材料供應商Versum Materials, Inc. (NYSE:VSM)和致力于將原子設計材料設計并集成入氣體輸送、分離與凈化系統(tǒng)的先鋒企業(yè)NuMat Technologies宣布達成一項全球商業(yè)協(xié)議，旨在提供一個新的產(chǎn)品系列，以實現(xiàn)砷化氫、磷化氫和三氟化硼等摻雜氣體的安全儲存和輸送。該新產(chǎn)品系列名為ION-X?，它以突破性的金屬有機框架材料(MOF)為基礎，該材料在亞大氣壓下能夠選擇性地吸附、儲存和安全輸送超高純度氣體。ION-X?提供優(yōu)于半導體設備制造離子注入工藝中所使用的傳統(tǒng)碳基吸附劑技術的性能優(yōu)點。

        Versum亞洲工藝材料總經(jīng)理Jim Minicucci表示：“NuMat擁有專利MOF制造領域的專長，而Versum將利用其世界一流的全球業(yè)務覆蓋來制造和實現(xiàn)ION-X?產(chǎn)品的商業(yè)化并在全球范圍內(nèi)對該產(chǎn)品進行分銷，雙方將結合各自的領導地位。依托我們在特種氣體領域的悠久歷史，公司計劃在位于韓國始華的生產(chǎn)基地設計并創(chuàng)建一家新的ION-X摻雜氣體填充廠?！?/p>

        Versum Materials高級副總裁Ed Shober表示：“能夠與NuMat Technologies攜手合作向公司全球客戶群交付ION-X?產(chǎn)品，令我們十分興奮。ION-X?是一種新的差異化的發(fā)展機會，它與我們的工藝材料業(yè)務相得益彰，此外，還與我們作為特種氣體制造商和供應商的核心能力相一致?！?/p>

        NuMat Technologies公司首席執(zhí)行官Ben Hernandez指出：“我們很高興宣布與 Versum Materials達成此項協(xié)議，攜手實現(xiàn)ION-X?的全球商業(yè)化。與Versum的合作關系彰顯了NuMat差異化技術平臺與Versum在半導體行業(yè)中的運營、質(zhì)量及商業(yè)領先地位的戰(zhàn)略匹配性。我們期望能夠履行向客戶交付價值和創(chuàng)新的共同使命?！?/p>